超纯水最初是美国科技界为了研制超纯材料(半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等)应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术生产出来的水，如今超纯水已在生物、医药、汽车等领域广泛应用。这种水中除了水分子(H20)外，几乎没有什么杂质，更没有细菌、病毒、含氯二恶英等有机物，当然也没有人体所需的矿物质微量元素，超纯水无硬度，口感较甜，又常称为软水，可直接饮用，也可煮沸饮用。超纯水,是一般工艺很难达到的程度，如水的电阻率大于18MΩ*cm，接近于18.3MΩ*cm则称为超纯水。

　　超纯水系统是指系统从原水至超纯水完整产生的生产系统。 一般超纯水系统是经由多重过滤，离子交换，除气，逆渗透，紫外线，超滤，纳米率，离子吸附过滤所产生的超纯水。

　　导电率：0.055 μS/cm 
　　细菌含量：1 CFU/ml 
　　TOC： 3－10 ppb* 
　　除热原 
　　性能：最大每分钟1.5升

　　超净过滤器装置，滤筒用纯聚丙烯制成 
　　活性碳，清除无机、有机微量污染的离子交换树脂(核级别)和吸附器树脂 
　　消毒过滤器，气孔大小0.2μm

　　紫外光氧化装置作用，放射波长185、254nm 
　　超滤器模块

　　■组件用高质量材料制成 
　　超纯水循环 
　　监控给水导电率 
　　监控超纯水极限数值 
　　■给水 
　　用离子交换、反渗透或蒸馏,法预先处理水 
　　推荐的导电率为0,1-5μS/cm 
　　给水温度1－25℃ 
　　给水压力2－6巴 
　　*按给水量而定 
　　■净化水 
　　导电率0.005μS/cm(18.2 MΩ-cm) 
　　TOC值　10 ppb*（编号08.2202/08.2203） 
　　TOC值　3ppb*(编号08.2204/08.2205) 
　　流速最大为每分钟1.5升 
　　细菌含量1CFU/ml 
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