在超纯水设备的生产过程中，水中的阴阳离子可用电渗析法、反渗透法及离子交换技术等去除，水中的颗粒一般可用超过滤、膜过滤等技术去除;水中的细菌，目前国内多采用加药或紫外灯照射或臭氧杀菌的方法去除;水中的TOC则一般用活性炭、反渗透处理。在高纯水的应用领域中，水的纯度直接关系到器件的性能、可靠性，因此高纯水要求具有相当高的纯度和精度。

超纯水设备的使用

  离子交换混床是通过离子交换树脂在电解质溶液中进行的，可去除水中的各种阴、阳离子，是目前制备超纯水工艺流程中不可替代的手段。离子交换器分为阳离子交换器、阴离子交换器等。当原水通过离子交换柱时，水中的阳离子和水中的阴离子(HCO3-等离子)与交换柱中的阳树脂的H+离子和阴树脂的OH-离子进行交换，从而达到脱盐的目的。阳、阴混柱的不同组合可使水质达到更高的要求，生产出达到更高标准的超纯水。

  离子交换法是目前国内外制水行业普遍采用的较为理想的方法，也是最经济有效的化学法之一，离子交换是一种利用阴阳交换树脂对离子的选择性及平衡反应原理，去除水中电解质离子的技术。是一套完整成熟的制水工艺，现广泛为广大用户认可。

  再生活化原理：当设备运行一段时间，树脂失效，此时需再生，使其恢复交换能力。